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半导体技术 2020年第5期45卷 396-403页

作者：王聪刘玉岭王辰伟张辉辉曾能源罗翀河北工业大学电子信息工程学院天津300130 天津市电子材料与器件重点实验室天津300130

极大规模集成电路(GLSI)制造中化学机械抛光(CMP)过程中会产生很多缺陷,其会对产量和可靠性产生不利影响。研究了复合表面活性剂对划伤缺陷数量减少的作用。使用大颗粒测试仪表征抛光液中颗粒尺寸的变化,使用接触角测试仪表征抛光液的变... 详细信息

极大规模集成电路(GLSI)制造中化学机械抛光(CMP)过程中会产生很多缺陷,其会对产量和可靠性产生不利影响。研究了复合表面活性剂对划伤缺陷数量减少的作用。使用大颗粒测试仪表征抛光液中颗粒尺寸的变化,使用接触角测试仪表征抛光液的变化,通过原子力显微镜(AFM)和光学显微镜表征抛光后的铜片表面的划伤缺陷。实验结果表明,通过复配两种不同的表面活性剂,可以降低磨料大颗粒数量从25万级到15万级,实现划伤缺陷数量从4 084降低至51,表面粗糙度从4.66 nm降至0.447 nm。基于实验结果,研究并提出了复合表面活性剂影响大颗粒数量和表面润湿性,从而减少划伤缺陷的机理。对于提高工业生产晶圆的良品率具有一定参考。

关键词：复合表面活性剂划伤缺陷粗糙度大颗粒数量润湿性化学机械抛光(CMP)

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复合络合剂在阻挡层抛光液中的应用

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半导体技术 2019年第11期44卷 870-875页

作者：张辉辉刘玉岭王辰伟曾能源王聪徐奕马腾达刘国瑞河北工业大学电子信息工程学院天津300130 天津市电子材料与器件重点实验室天津300130

分别选用FA/OⅡ型螯合剂和柠檬酸钾(CAK)单独配置及复合配置多层铜布线阻挡层抛光液,对Cu和正硅酸乙酯(TEOS)介质层进行化学机械抛光(CMP),研究复合络合剂对材料去除速率、碟形坑和蚀坑的影响。结果表明,单独使用FA/OⅡ型螯合剂配置抛... 详细信息

分别选用FA/OⅡ型螯合剂和柠檬酸钾(CAK)单独配置及复合配置多层铜布线阻挡层抛光液,对Cu和正硅酸乙酯(TEOS)介质层进行化学机械抛光(CMP),研究复合络合剂对材料去除速率、碟形坑和蚀坑的影响。结果表明,单独使用FA/OⅡ型螯合剂配置抛光液时,随着螯合剂的增加,Cu去除速率明显增加,而TEOS去除速率趋于减小;单独使用CAK配置抛光液时,随着CAK的增加,Cu去除速率缓慢增加,而TEOS去除速率明显增加;使用FA/OⅡ型螯合剂和CAK复合配置(质量分数分别为20%和3%)阻挡层抛光液,可以得到较高的Cu和TEOS去除速率,Cu和TEOS去除速率选择比为1∶1.8,碟形坑和蚀坑深度分别从69.8 nm和45.5 nm修正为25.6 nm和16.7 nm,铜表面粗糙度由原来的7.11 nm降至1.27 nm。该阻挡层抛光液稳定时间为72 h,其稳定性满足工业化要求。

关键词：化学机械抛光(CMP) 复合络合剂去除速率碟形坑蚀坑

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我市能源项目核准投资额超658亿元

我市能源项目核准投资额超658亿元

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鄂尔多斯日报

作者：能源轩

康巴什讯近日，笔者从市能源局了解到，2023年，全市能源项目核准95个，总投资额658.82亿元，同比增长149.6%。其中，电力项目446.41亿元，新能源项目211.18亿元，油气管道项目1.23亿元。2023年，市能源局扎实开展“优化职能职责、优... 详细信息

康巴什讯近日，笔者从市能源局了解到，2023年，全市能源项目核准95个，总投资额658.82亿元，同比增长149.6%。其中，电力项目446.41亿元，新能源项目211.18亿元，油气管道项目1.23亿元。2023年，市能源局扎实开展“优化职能职责、优化工作流程”专项行动，承接自治区职权事......

关键词：项目核准投资额

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《关于做好新能源消纳工作保障新能源高质量发展的通知》政策解读

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电力设备管理 2024年第13期 6-7页

作者：国家能源局国家能源局

为深入贯彻落实习近平总书记在中共中央政治局第十二次集体学习时的重要讲话精神,提升电力系统对新能源的消纳能力,确保新能源大规模发展的同时保持合理利用水平,推动新能源高质量发展,国家能源局印发了《关于做好新能源消纳工作保障新... 详细信息

为深入贯彻落实习近平总书记在中共中央政治局第十二次集体学习时的重要讲话精神,提升电力系统对新能源的消纳能力,确保新能源大规模发展的同时保持合理利用水平,推动新能源高质量发展,国家能源局印发了《关于做好新能源消纳工作保障新能源高质量发展的通知》(国能发电力【2024】44号,以下简称《通知》)。现从三个方面对《通知》进行解读。

关键词：新能源消纳集体学习政策解读高质量发展《通知》消纳能力电力系统通知

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国家能源局就《电力市场监管办法》答记者问

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电力设备管理 2024年第9期 5-5,7页

作者：国家能源局国家能源局

近日,国家发展改革委印发了《电力市场监管办法》(以下简称《办法》)。就此,记者专访了国家能源局有关负责同志。问:请问此次修订背景是什么?自2005年10月《办法》颁布实施以来,在维护公平、公正的电力市场秩序,规范电力市场成员行为,... 详细信息

近日,国家发展改革委印发了《电力市场监管办法》(以下简称《办法》)。就此,记者专访了国家能源局有关负责同志。问:请问此次修订背景是什么?自2005年10月《办法》颁布实施以来,在维护公平、公正的电力市场秩序,规范电力市场成员行为,保障电力交易主体合法权益,促进市场资源有效配置,推进电力行业可持续发展等多个方面发挥了重要作用。近年来,随着我国电力工业高速发展、电力改革深入推进,电力市场成员不断增加、市场环境发生深刻变化、市场运行更加复杂,原《办法》部分条款已不适应当前电力市场监管新形势、新要求,《办法》修订必要性日益凸显。

关键词：国家发展改革委电力改革交易主体资源有效配置行业可持续发展修订背景电力市场监管《办法》

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