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电容式微加工超声传感器（CMUT）仿真与制造流程
电容式微加工超声传感器（CMUT）仿真与制造流程
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作者： 官志坚 天津大学
学位级别：硕士
在超声领域,压电超声传感器是应用较为广泛的一种声电转换元件。但由于传统的压电传感器存在着空气与普通的压电材料之间声阻抗失配(空气的声阻抗约为0.0004MRayl、而压电材料的声阻抗为10～20MRayl)因此压电超声传感器在空气中的发送... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
1928年全国教育会议研究
1928年全国教育会议研究
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作者： 官志坚 江西师范大学
学位级别：硕士
1928年5月全国教育会议由蔡元培主持的大学院召开。这次会议的召开有着深刻的背景：此时国共双方已由合作走向对立，日本处心积虑分裂中国并且制造了“五三惨案”。这次会议召开的缘由主要有两个：一是教育中存在许多积弊需要革除，二... 详细信息
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一种微加工超声传感器的设计
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天津大学学报 2008年 第1期41卷 17-20页
作者： 张慧 宋光德 栗大超 官志坚 靳世久 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072
电容式微加工超声传感器(cMUT)是近年来出现的新型器件,具有高灵敏度、频带宽和机电转换效率高等优点,大有取代传统的压电式超声传感器之势.介绍了cMUT的基本结构和工作原理,提出了一种新型传感器结构.针对此结构建立了两个有限元模型,... 详细信息
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高黏度微小流量标准装置换向系统的实现及验证
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测控技术 2013年 第7期32卷 1-3,7页
作者： 官志坚 沈峰 中航工业北京长城计量测试技术研究所 北京100095
提出了一种用于高黏度微小流量换向系统的技术方案。采用快响应两位三通阀实现换向功能,解决高黏度微小流量换向器的挂壁问题。采用双时间法实现换向同步以及流量计脉冲信号的采集,消除测频电路一个脉冲的计数误差,确保测时测频的准确... 详细信息
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电容式微加工超声传感器结构参数对性能的影响分析
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传感技术学报 2008年 第6期21卷 951-953页
作者： 张慧 宋光德 官志坚 靳世久 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072
介绍了电容式微加工超声传感器(cMUT)的工作原理,通过理论计算和有限元仿真分析,讨论了cMUT中薄膜厚度、薄膜半径、薄膜残余应力和空腔厚度的变化对传感器的塌陷电压和谐振频率的影响,为传感器的设计和制作提供了依据。
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电容式微超声传感器的电极参数优化设计
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传感技术学报 2010年 第7期23卷 935-938页
作者： 张慧 宋光德 靳世久 官志坚 刘娟 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072
建立了电容式微超声传感器(cMUT)的有限元模型,通过对模型进行静电-结构耦合仿真分析,研究了金属电极的结构参数包括电极面积、电极厚度、电极材料以及电极相对与薄膜的位置等参数的变化对传感器性能的影响。分析了电极参数与传感器吸... 详细信息
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电容式微加工超声传感器(cMUT)的有限元仿真
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传感技术学报 2006年 第5B期19卷 2290-2292,2296页
作者： 宋光德 官志坚 栗大超 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072
介绍了电容式微加工超声传感器(cMUT)的基本结构和工作原理.同时使用有限元方法对cMUT的运行情况进行模拟.提出了两个ANSYS模型来阐述cMUT的塌陷电压与谐振频率.一个3D模型用来阐述制造过程中的残余应力对cMUT谐振频率的影响.另外一个3... 详细信息
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基于流固耦合模型的微超声传感器仿真分析
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传感器与微系统 2010年 第12期29卷 45-47页
作者： 张慧 宋光德 靳世久 官志坚 刘娟 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072
建立了基于流体固体耦合单元的电容式微超声传感器(cMUT)的有限元模型,通过对模型进行声场仿真分析,研究传感器阵列在不同介质中工作时的声场特性,如,谐振频率,发射声压等;分析了传感器振动膜半径、空腔厚度以及传感器单元间距的变化对... 详细信息
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主动式体积管实现微小流量校准的改造
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计测技术 2015年 第B7期35卷 150-151,170页
作者： 韩义中 官志坚 中航长城计量测试(天津)有限公司 天津300457
提出了一种主动式体积管实现微小流量校准的改造方案。方案中主动式体积管作为微小流量校准的流量源,增加两台电子天平主标准器、采用快响应两位三通阀实现换向功能,解决了传统换向器挂壁等缺点,装置的流量范围由100~10000 L/h扩展到1~1... 详细信息
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流量标准装置前端脉冲信号处理方法
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计测技术 2015年 第B7期35卷 129-131,138页
作者： 韩义中 官志坚 中航长城计量测试(天津)有限公司 天津300457
针对流量标准装置前端脉冲信号处理经常遇到的两种问题提出了解决方案。针对流量计输出的脉冲信号幅度随厂家、原理而不同的特征，设计了可变比较门限的脉冲整形电路，相比固定比较值的方法大大提高了装置对不同流量计脉冲信号的适应性... 详细信息
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