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基于BBr3液态硼源的管式扩散设备研究与开发

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电子工业专用设备 2020年第4期49卷 9-12页

作者：黄志海陈勇平赵志然闫海莲姬常晓中国电子科技集团公司第四十八研究所湖南长沙410111

针对在以BBr3为液态掺杂源的N型晶硅电池扩散工艺过程中,扩散温度高,反应中间产物B2O3为液态,流动性较气态反应物差,副产物黏性较大,腐蚀石英件等特点,在硼扩散设备研制中通过炉门及尾气排放的设计,实现炉口炉尾的高温密封,缓解炉门粘连... 详细信息

针对在以BBr3为液态掺杂源的N型晶硅电池扩散工艺过程中,扩散温度高,反应中间产物B2O3为液态,流动性较气态反应物差,副产物黏性较大,腐蚀石英件等特点,在硼扩散设备研制中通过炉门及尾气排放的设计,实现炉口炉尾的高温密封,缓解炉门粘连;优化进出气方式和石英管内压力及气流场控制,提高扩散均匀性;在工艺中增加通水蒸汽功能步,优化反应过程,减少副产物对石英件的腐蚀,降低石英件损耗成本,提高了硼扩散设备的生产效率。为N型晶硅电池硼扩散工艺提供了设备基础。

关键词：液态掺杂源(BBr3) 扩散设备 N型晶硅电池

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教学留白在高中思想政治课中的运用研究 ——以Y市S中学为例

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教学留白在高中思想政治课中的运用研究 ——以Y市S中学为例

作者：常晓哲伊犁师范大学

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面向图神经网络的对抗攻击和隐私攻击研究

面向图神经网络的对抗攻击和隐私攻击研究

作者：常晓洋江西理工大学

学位级别：硕士

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适用于低应力氮化硅薄膜的LPCVD设备

电子工艺技术 2023年第6期44卷 52-55页

作者：姬常晓王成宇赵瓛彭浩袁野易文杰中国电子科技集团公司第四十八研究所长沙410111

针对适用于低应力氮化硅薄膜淀积的低压化学气相沉积(LPCVD)工艺中出现的薄膜应力大、应力均匀性差、工艺颗粒超标的问题,设计开发出一种适用于半导体器件的低应力立式LPCVD设备。在结构上,工艺腔采用双管式结构,内管为直筒式结构,以提... 详细信息

针对适用于低应力氮化硅薄膜淀积的低压化学气相沉积(LPCVD)工艺中出现的薄膜应力大、应力均匀性差、工艺颗粒超标的问题,设计开发出一种适用于半导体器件的低应力立式LPCVD设备。在结构上,工艺腔采用双管式结构,内管为直筒式结构,以提高气流场均匀性;增加舟旋转功能,以提高晶圆表面的气体浓度一致性;在工艺设计上,验证并确定最佳的DCS(二氯二氢硅)与NH3气体流量比例,以及温度和真空度。通过工艺优化及验证,得到应力低于200 MPa的薄膜的淀积工艺。

关键词：立式LPCVD 工艺腔旋转舟架低应力氮化硅

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软岩筑坝颗粒的破碎特性试验研究

岩土力学 2024年第S1期45卷 359-370页

作者：胡锦方杨启贵熊堃马刚程家林周伟常晓林武汉大学水工程科学研究院武汉大学水资源工程与调度全国重点实验室长江设计集团有限公司长江勘测规划设计研究有限责任公司国家大坝安全工程技术研究中心武汉大学水工岩石力学教育部重点实验室

部分抽水蓄能电站大坝使用软岩作为坝体填筑料。在开采、填筑和碾压过程中软岩容易发生破碎，颗粒级配和填充关系发生变化，对筑坝料强度和变形特性有较大影响。目前，对软岩筑坝料的颗粒破碎特性的研究还不够充分，与硬岩筑坝料颗粒破... 详细信息

部分抽水蓄能电站大坝使用软岩作为坝体填筑料。在开采、填筑和碾压过程中软岩容易发生破碎，颗粒级配和填充关系发生变化，对筑坝料强度和变形特性有较大影响。目前，对软岩筑坝料的颗粒破碎特性的研究还不够充分，与硬岩筑坝料颗粒破碎特性的差异认识还不够全面。对取自某抽水蓄能电站的软岩筑坝料进行了颗粒筛分、颗粒扫描和颗粒破碎试验，比较了软岩与硬岩颗粒破碎模式、分形维数、破碎强度和尺寸效应的差异，分析了颗粒形状和粒径对软岩颗粒破碎模式和破碎强度的影响，量化了软岩颗粒形状与破碎强度的关系。结果表明：软岩颗粒的破碎模式可分为粉碎式、分裂式和混合式3种，其中粉碎式为软岩和低强度硬岩颗粒特有的破碎模式；软岩颗粒破碎产生的碎片尺寸与碎片个数服从分形分布，分形维数为2.198，与灰岩、玄武岩和砂岩相近，略低于大理岩、石灰岩，软岩颗粒破碎表面会产生更多的细小碎片；软岩颗粒的破碎强度显著低于硬岩颗粒，平均Weibull模数为1.48，也低于大多数硬岩颗粒，其破碎强度的尺寸效应和离散性更强；软岩颗粒的破碎模式主要取决于颗粒形状，破碎强度主要取决于颗粒粒径，形状与破碎强度的关系可用所提出的公式定量描述。

关键词：软岩颗粒形状破碎模式分形维数 Weibull统计