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结构光照明显微成像技术在集成电路掩模检测中的应用

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光学学报 2024年第11期44卷 179-186页

作者：魏鑫刘泽旭张子怡陈韫懿杨文河曹晶林楠上海大学微电子学院上海200444 中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室上海201800 超强激光科学与技术重点实验室(中国科学院) 上海201800

针对集成电路成熟制程下的掩模检测需求,设计了一种适用于该应用场景的透射式结构光照明显微(SIM)检测系统。SIM技术在频率域内利用空间混频将物体的高频信息载入到光学系统的探测通带,从而使分辨率突破衍射极限。采用数字微镜器件(DMD... 详细信息

针对集成电路成熟制程下的掩模检测需求,设计了一种适用于该应用场景的透射式结构光照明显微(SIM)检测系统。SIM技术在频率域内利用空间混频将物体的高频信息载入到光学系统的探测通带,从而使分辨率突破衍射极限。采用数字微镜器件(DMD)控制干涉光束的空间分布强度和相位,利用四方向照明(0°、45°、90°和135°,每个方向上分别有三个相位)提高各向同性的分辨率,并可选取级次较高的衍射光在样品表面产生高频结构光,进一步提高样品的空间分辨率。相较于大数值孔径的光学检测系统,该系统结构简单、灵活度高、分辨率提高潜力大。实验验证系统使用不同级次衍射光的成像能力,并简要分析影响SIM分辨率的因素,为基于该系统的优化和改良提供理论依据。

关键词：显微光学系统衍射光栅图像重构技术空间光调制器

推拿理筋手法联合中药热敷对腰椎间盘突出症术后患者腰椎功能康复的效果观察

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反射疗法与康复医学 2024年第10期 22-25页

作者：徐俊兵刘泽旭聊城市东昌府区妇幼保健院康复科

目的探讨推拿理筋手法联合中药热敷对腰椎间盘突出症（LDH）术后患者的具体影响。方法选取2022年10月—2023年10月聊城市东昌府区妇幼保健院收治的102例LDH术后患者为研究对象，按随机数字表法将其分为对照组与观察组，各51例。对照... 详细信息

目的探讨推拿理筋手法联合中药热敷对腰椎间盘突出症（LDH）术后患者的具体影响。方法选取2022年10月—2023年10月聊城市东昌府区妇幼保健院收治的102例LDH术后患者为研究对象，按随机数字表法将其分为对照组与观察组，各51例。对照组采用常规康复干预，观察组采用推拿理筋手法联合中药热敷干预，两组干预时间均为8周。比较两组腰椎功能、疼痛程度、腰部活动度及生活质量。结果干预前，两组腰椎功能、疼痛程度、腰部活动度及生活质量比较，组间差异无统计学意义（P>0.05）。干预后，观察组Oswestry功能障碍指数评分为（23.64±2.57）分，疼痛视觉模拟评分为（2.44±1.03）分，均低于对照组的（28.41±3.12）分、（3.87±1.22）分，组间差异有统计学意义（P<0.05）；观察组腰部活动度大于对照组，生活质量综合评定问卷评分高于对照组，组间差异有统计学意义（P<0.05）。结论推拿理筋手法联合中药热敷干预能有效减轻LDH患者疼痛程度，增大腰部活动度，促进患者腰椎功能恢复，改善生活质量。

关键词：腰椎间盘突出症推拿理筋手法中药热敷腰椎功能

四川内江东兴区大治乡马鞍山摩崖造像调查简报

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故宫博物院院刊 2024年第9期 23-39,146页

作者：白彬罗洪彬张媛媛刘泽旭田龙(摄影) 李佳骏(绘图) 谈北平(绘图) 四川大学考古文博学院西华师范大学考古文博系内江市东兴区文物管理所

一造像点概况马鞍山摩崖造像位于四川省内江市东兴区大治乡土主村,距内江市市中心33公里,与安岳县毗邻[图一]。造像分布于土主山东北面崖壁上,海拔393米。摩崖造像现存13龛,分布于一东西向的崖面上,整体保存状况较好。第三次全国文物普... 详细信息

一造像点概况马鞍山摩崖造像位于四川省内江市东兴区大治乡土主村,距内江市市中心33公里,与安岳县毗邻[图一]。造像分布于土主山东北面崖壁上,海拔393米。摩崖造像现存13龛,分布于一东西向的崖面上,整体保存状况较好。第三次全国文物普查期间,内江市东兴区文物管理所对该摩崖造像进行了普查,并编号13龛。2020年8月,四川大学考古学系联合内江市东兴区文物管理所对该造像进行了全面的考古调查,依据三普编号,将该造像点的龛像从东至西依次编号为第1-13龛[图二]。马鞍山摩崖造像题材丰富,佛道兼备。

关键词：摩崖造像第三次全国文物普查考古调查文物管理所调查简报东兴区四川内江依次编号

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冷水机组数字孪生模型及故障诊断研究

制冷技术 2024年第1期44卷 45-51页

作者：刘泽旭张帅朱旭晋欣桥杜志敏上海交通大学制冷与低温工程研究所上海200240

本文采用了基于数字孪生的冷水机组故障诊断方法,研究了冷水机组制冷剂泄漏、冷凝器水流量减少、蒸发器水流量减少故障的诊断策略,分析了物理建模、经验建模和数据驱动建模的联合建模方式生成数据的可靠性和对故障诊断的提升效果,并通... 详细信息

本文采用了基于数字孪生的冷水机组故障诊断方法,研究了冷水机组制冷剂泄漏、冷凝器水流量减少、蒸发器水流量减少故障的诊断策略,分析了物理建模、经验建模和数据驱动建模的联合建模方式生成数据的可靠性和对故障诊断的提升效果,并通过实验验证了所提出方法的可靠性。结果表明:数字孪生方法可以有效解决故障诊断模型在新工况点下诊断能力下降的问题,利用数字孪生方法后系统仿真模型的所有热力参数最大相对误差均不超过4%,且故障诊断模型的准确率、查全率、平衡F分数分别提升9.7%、29.4%和16.6%。

关键词：冷水机组数字孪生故障诊断

中国—蒙古国边境阿尔泰山区首次分离出鼠疫耶尔森菌

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中国地方病防治 2024年第1期39卷 12-15页

作者：刘戈尹小平田锋张晖白岑赵伟荣王卫红尹达刘泽旭张晖周林福王信惠党文起乌鲁木齐海关新疆830000 新疆国际旅行卫生保健中心(乌鲁木齐海关口岸门诊部) 阿勒泰海关浙江大学新疆维吾尔自治区疾病预防控制中心

目的排查中国与蒙古国(中蒙)边境阿尔泰山区鼠疫自然疫源地的存在性,防止鼠疫跨境传播。方法用1日弓型夹、夹夜法采集鼠类及体外寄生物,在自毙鼠洞、洞旁、周边洞群采集鼠疫可疑材料,用鼠疫血清学检测鼠疫F1抗原、抗体,4步分离法检验鼠... 详细信息

目的排查中国与蒙古国(中蒙)边境阿尔泰山区鼠疫自然疫源地的存在性,防止鼠疫跨境传播。方法用1日弓型夹、夹夜法采集鼠类及体外寄生物,在自毙鼠洞、洞旁、周边洞群采集鼠疫可疑材料,用鼠疫血清学检测鼠疫F1抗原、抗体,4步分离法检验鼠疫菌。结果在第一片监测点发现1具自毙长尾黄鼠并检出鼠疫F1抗原,随后分离出鼠疫菌,在其自毙鼠洞及洞旁、洞群的活体鼠中检出F1抗体4份;在第二片监测点9只林鼬中检出8份鼠疫F1抗体;在第三片监测点赤狐中检出2份鼠疫F1抗体;发现染疫鼠洞13个,鼠洞染疫率为0.97%(13/1335);捕获小兽类5科7属7种163只,鼠疫菌F1抗原、抗体阳性率为9.20%(15/163);60d内鼠疫菌检出点范围约50.5001hm^(2)。结论本次调查从中蒙边境阿尔泰山区优势种长尾黄鼠中首次分离出鼠疫菌,发现并追踪到3种鼠疫宿主在三片鼠疫新疫点的分布动态,为新的鼠疫自然疫源地的判定提供了最直接依据。

关键词：长尾黄鼠鼠疫菌鼠疫自然疫源地中蒙边境阿尔泰山区

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线性磁悬浮织针驱动系统运动控制与实验分析

纺织学报 2023年第12期44卷 197-204页

作者：盛晓超刘泽旭胥光申石英男西安工程大学机电工程学院陕西西安710048 西安市现代智能纺织装备重点实验室陕西西安710048

为解决传统织针驱动系统性能不佳以及磁阻式磁悬浮织针驱动系统的电磁力非线性问题,提出一种线性的洛伦兹力磁悬浮织针驱动系统。基于已有驱动系统实验平台,首先对系统的电磁力输出进行了测试,得出电磁力输出与线圈电流呈线性关系且与... 详细信息

为解决传统织针驱动系统性能不佳以及磁阻式磁悬浮织针驱动系统的电磁力非线性问题,提出一种线性的洛伦兹力磁悬浮织针驱动系统。基于已有驱动系统实验平台,首先对系统的电磁力输出进行了测试,得出电磁力输出与线圈电流呈线性关系且与线圈所在磁场位置无关;其次设计了系统自适应鲁棒滑模控制器并进行实验,在该控制下织针0.6 s达到稳态且过程无超调量产生,系统具有较好的扰动抑制能力,且稳态误差保持在±15μm之间;最后将自适应鲁棒滑模控制与比例积分微分(PID)闭环反馈控制的实验结果进行对比分析。实验结果表明,洛伦兹力磁悬浮织针驱动系统为线性系统,且线性度较高,自适应鲁棒滑模控制系统具有较好的控制效果,且与PID控制相比在提高响应速度、控制超调量与抗干扰方面具有明显优势。

关键词：针织机械磁悬浮滑模控制洛伦兹力织针驱动系统

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洛伦兹力磁悬浮织针驱动器设计与仿真

纺织学报 2021年第11期42卷 159-165页

作者：刘泽旭胥光申盛晓超代欣怡西安工程大学机电工程学院陕西西安710048 西安市现代智能纺织装备重点实验室陕西西安710048

为解决织针三角驱动中存在摩擦、冲击等问题,并避免引入电磁力非线性影响,设计了一种基于洛伦兹力的磁悬浮织针驱动器。首先提出了驱动原理并推导了数学模型,利用ANSYS软件进行电磁有限元分析;然后设计了执行调节(PID)控制器并在MatLab/... 详细信息

为解决织针三角驱动中存在摩擦、冲击等问题,并避免引入电磁力非线性影响,设计了一种基于洛伦兹力的磁悬浮织针驱动器。首先提出了驱动原理并推导了数学模型,利用ANSYS软件进行电磁有限元分析;然后设计了执行调节(PID)控制器并在MatLab/Simulink中进行控制系统仿真,最后搭建了实物平台进行实验。结果表明:驱动器工作区域磁场均匀稳定,电磁力满足驱动要求;织针轨迹与预期吻合,仿真误差在±3.5μm之间;织针可以达到集圈高度,且响应迅速、平稳无振荡,测试误差在±10μm之间。洛伦兹力磁悬浮织针驱动器可以消除织针运动中摩擦、振动和冲击,并且与磁阻力磁悬浮织针驱动器相比控制系统简单、线性度好,控制精度可达到微米级。

关键词：织针驱动磁悬浮洛伦兹力纺织机械磁场有限元

应用于木材防霉的樟树叶提取物及复配试剂研究

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应用于木材防霉的樟树叶提取物及复配试剂研究

作者：刘泽旭东北林业大学

学位级别：硕士

木材霉变不仅降低了木材的使用价值,而且还危及到人体健康。樟树叶提取物中含有大量芳樟醇等抑菌物质,而且绿色环保无毒副作用。本研究采用单因素试验和响应面法对樟树叶乙醇水溶液提取工艺进行优化,利用顶空固相微萃取-气相色谱-质谱... 详细信息

木材霉变不仅降低了木材的使用价值,而且还危及到人体健康。樟树叶提取物中含有大量芳樟醇等抑菌物质,而且绿色环保无毒副作用。本研究采用单因素试验和响应面法对樟树叶乙醇水溶液提取工艺进行优化,利用顶空固相微萃取-气相色谱-质谱法对提取物进行成分分析。采用牛津杯法测试提取物对桔青霉、绿木霉和黑曲霉的最低抑菌浓度,测试不同浓度提取物对三种霉菌的抑制效果,选取提取物最佳的抑菌浓度。将提取物分别与肉桂醛和碘代丙炔基氨基甲酸丁酯(IPBC)进行复配,测试不同复配浓度的复配试剂对三种霉菌的抑制效果,选取最佳抑菌的复配浓度。在液态培养基中,借助紫外可见分光光度计和显微镜分析不同试剂对三种霉菌的生长周期和形态的影响。采用浸渍法、涂刷法和两者相结合的方法,利用提取物及其复配试剂对木材试件进行处理。分别测定不同防霉试件对三种霉菌及其混合霉菌的防治效力,分析不同处理方法对试剂防霉效果的影响。得到结论如下：(1)樟树叶的最佳提取工艺条件为：乙醇体积分数取45%,提取温度取58℃,提取时间取78mm,液料比取16：1(ml·g1),平均提取率为19.33%。最优条件下提取的樟树叶提取物中含有大量醇烯化合物,其中异丁香酚甲醚、芳樟醇、反式-橙花叔醇和丁香酚甲醚含量较高。(2)桔青霉、绿木霉和黑曲霉对于樟树叶提取物的敏感程度不同,桔青霉对樟树叶提取物的敏感度最高,黑曲霉次之,绿木霉最弱。樟树叶提取物对桔青霉、黑曲霉和绿木霉的最低抑菌浓度分别为0.25%、0.50%和1.00%。樟树叶提取物对于桔青霉、绿木霉和黑曲霉的最佳抑制浓度应当选取12.50%。(3)肉桂醛与樟树叶提取物的最佳复配浓度为0.40%,碘代丙炔基氨基甲酸丁酯(IPBC)与樟树叶提取物的最佳复配浓度为0.06%。复配试剂对于桔青霉、绿木霉和黑曲霉其抑制效果都很显著,明显优于原樟树叶提取物试剂。复配试剂所表现出的抑菌效果是樟树叶提取物分别与肉桂醛和IPBC联合增效共同抑制霉菌的结果。(4)在液态培养基中,樟树叶提取物、肉桂醛复配试剂和IPBC复配试剂对桔青霉、绿木霉和黑曲霉的生长周期和形状都有不同程度的影响。两种复配试剂都能使三种霉菌停留在延滞期,霉菌菌丝无法正常生长。而樟树叶提取物只能延长三种霉菌的延滞期,霉菌菌丝细小而稀疏。(5)肉桂醛与樟树叶提取物的复配试剂采用浸渍处理更为合适,其处理试件对于混合菌的防治效力为75.00%,平均感染值仅为1.0,即木材试件表面被侵染面积小于1/4。碘代丙炔基氨基甲酸丁酯(IPBC)与樟树叶提取物的复配试剂采用浸渍涂刷处理更为合适,其处理试件对于混合菌的防治效力为87.50%,平均感染值仅为0.5。经樟树叶提取物处理的试件对绿木霉、桔青霉、黑曲霉和混合菌防治效力都不超过55.00%。

关键词：樟树叶提取物复配木材试件防霉效果

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高河煤矿膏体充填支架与围岩关系研究

高河煤矿膏体充填支架与围岩关系研究

作者：刘泽旭中国矿业大学

学位级别：硕士

膏体充填开采技术作为一种环境友好型绿色开采技术,是一种将劣质土、工业炉渣、矸石或尾矿等作为骨料,经加工成所需小粒径物料,再与胶结料、矿井水、粉煤灰等按照合理配制比搅拌制成膏状充填材料,然后采用自重输送及泵送的方式输送到待... 详细信息

膏体充填开采技术作为一种环境友好型绿色开采技术,是一种将劣质土、工业炉渣、矸石或尾矿等作为骨料,经加工成所需小粒径物料,再与胶结料、矿井水、粉煤灰等按照合理配制比搅拌制成膏状充填材料,然后采用自重输送及泵送的方式输送到待充区,充填材料凝结后逐步控制顶板下沉,形成“膏体充填支架—充填体”围岩支控体系,从而控制顶板形变及地表沉陷的采煤技术。该技术能够安全高效回收“三下”压煤资源,同时保护矿区生态环境。膏体充填支架作为围岩支控体系的关键一环,其支护强度的设定直接影响顶板运动及矿压显现,也间接影响了资源回收率及生态环境保护效果。本文以高河煤矿膏体充填开采为研究背景,根据膏体充填工作面支架、充填体、煤体构成的覆岩支控体系,基于弹性地基梁理论,建立了膏体充填支架与围岩关系力学模型,推导得到充填工作面顶板岩梁挠曲微分方程,分析了岩梁在支架、充填体、煤壁共同作用下的移动变形及矿压显现规律,并探讨了不同因素变化对顶板的影响。研究表明,支架弹性地基系数、充填体弹性地基系数、充填体接顶前顶板下沉量为顶板下沉主要影响因素,并给出了支架弹性地基系数与支护强度间的函数关系。根据高河矿采矿地质条件,运用FLAC3D数值模拟软件建立了膏体充填分层开采模型,模拟研究了不同支护强度下采场顶板、充填体假顶移动变形及矿压显现规律。综合分析上分层工作面顶板位移场及应力场,当充填率为97%时,支护强度超过0.6MPa后支架控顶效果明显减弱。再根据FLAC模拟所得采场应力条件,建立了膏体充填支架三维模拟模型,利用SW simulation有限元静力学分析模块,研究了不同支护强度下充填支架顶梁、立柱、隔离组合体力学响应特性。研究表明,当支护强度大于0.6MPa时,立柱各级缸进入应力减缓区,其应力状态不再随支护强度发生变化,从支架力学特性角度印证了FLAC模拟结果。该论文有图94幅,表12个,参考文献89篇。

关键词：膏体充填数值模拟膏体充填支架有限元静力学