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定容式流导法微流量校准装置

定容式流导法微流量校准装置

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中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会、中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会

作者：张涤新郭美如冯焱赵澜李得天赵定众国防科工委真空计量一级站国防科工委真空计量一级站国防科工委真空计量一级站国防科工委真空计量一级站国防科工委真空计量一级站国防科工委真空计量一级站

定容式流导法微流量校准装置由定容式流量计、流量比较系统、真空抽气系统和测量与控制系统四部分组成,可采用流量流入法,流量流出法和流量比较法对气体微流进行校准,校准范围为5×10-2-5×10-11Pa·m3/s,合成标准不确定度为0.56%-1.7%... 详细信息

定容式流导法微流量校准装置由定容式流量计、流量比较系统、真空抽气系统和测量与控制系统四部分组成,可采用流量流入法,流量流出法和流量比较法对气体微流进行校准,校准范围为5×10-2-5×10-11Pa·m3/s,合成标准不确定度为0.56%-1.7%,具有如下的特点。

关键词：微流量流导法校准装置

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HL-2A托卡马克装置的真空系统

HL-2A托卡马克装置的真空系统

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中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会、中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会

作者：曹曾崔成和徐云仙付卫东核工业西南物理研究院核工业西南物理研究院核工业西南物理研究院核工业西南物理研究院

中国环流器2号A(HL-2A)偏滤器托卡马克是我国第一个有偏滤器位形的核聚变实验装置,主要结构特点是真空室内具有磁孔栏和轴对称(极向)封闭式偏滤器,可在偏滤器物理和刮离层研究方面做出重要贡献,为我国参加国际热核实验堆(ITER)提供物理... 详细信息

中国环流器2号A(HL-2A)偏滤器托卡马克是我国第一个有偏滤器位形的核聚变实验装置,主要结构特点是真空室内具有磁孔栏和轴对称(极向)封闭式偏滤器,可在偏滤器物理和刮离层研究方面做出重要贡献,为我国参加国际热核实验堆(ITER)提供物理和技术基础。现代核聚变实验装置要求真空系统必须实现以下功能:①装置

关键词：偏滤器位形聚变实验装置直流辉光放电 HL-2A 托卡马克装置真空系统真空室

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管内材料高温放气性能的测试及应用研究

管内材料高温放气性能的测试及应用研究

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中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会、中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会

作者：王为孙公方钱永生上海永新彩色显像管股份有限公司上海永新彩色显像管股份有限公司上海永新彩色显像管股份有限公司

管内材料放气性能的优劣直接影响着整管的性能和寿命。本文简介了测试管内材料高温放气性能的原理、装置和方法。我们所配置的高精度温控仪及测试数据自动采集、贮存和处理系统的精度和智能化水平,目前在国内处于领先地位。文中列举的... 详细信息

管内材料放气性能的优劣直接影响着整管的性能和寿命。本文简介了测试管内材料高温放气性能的原理、装置和方法。我们所配置的高精度温控仪及测试数据自动采集、贮存和处理系统的精度和智能化水平,目前在国内处于领先地位。文中列举的几项应用实例表明,本项测试结果对产品质量控制、工艺技术改进和材料进厂检验及国产化攻关都具有指导意义。

关键词：彩色显像管材料高温放气性能动态流导法放气速率放气量放气成分

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氦质谱检漏仪校准真空校准漏孔

氦质谱检漏仪校准真空校准漏孔

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中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会、中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会

作者：周起春陈旭王立功中国计量科学研究院清华大学电子工程系清华大学电子工程系

为了指导渗氦型真空校准漏孔的制造,必须定量研究其物理性能,确定结构等因素对漏率造成的定量影响,这就必须解决大量的校准工作。为此,提出了一个建立相对真空漏率标准的方案:用一台高稳定度、高分辩率并具有优良线性的氦质谱检漏仪,配... 详细信息

为了指导渗氦型真空校准漏孔的制造,必须定量研究其物理性能,确定结构等因素对漏率造成的定量影响,这就必须解决大量的校准工作。为此,提出了一个建立相对真空漏率标准的方案:用一台高稳定度、高分辩率并具有优良线性的氦质谱检漏仪,配置由计量技术机构精确校准的高稳定度真空校准漏孔作为参考标准,即可实现对渗氦型真空校准漏孔(或真空通导漏孔)进行高效、准确的比较校准。参考标准漏孔及其实验用漏孔为VCL型真空校准漏孔,实验使用清华大学电子工程系PREIFFERVACUUM氦质谱检漏仪,读数精度为0.01Pa.m3/s(精确到小数点后两位)。做了三个典型实验:仪器短期稳定性,同日多次校准重复性,隔日多次校准重复性及互校。实验结果为:仪器具有极好的短期稳定性,等精度多次校准重复性为±1%,用七只漏孔与国防科工委成都计量站进行互校,其互校极限偏著均真空漏率标准,以满足大量漏孔的校准。

关键词：氦质谱检漏仪标准漏孔校准漏孔

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辉光放电清洗前后表面放气的质谱分析

辉光放电清洗前后表面放气的质谱分析

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中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会、中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会

作者：黄天斌陈旭金奇计曾鹏查良镇清华大学电子工程系清华大学电子工程系清华大学电子工程系清华大学电子工程系清华大学电子工程系

本论文介绍了在辉光放电清洗的研究过程中,应用质谱技术进行样品分析的过程和对真空性能进行测试的一系列实验结果,并应用其结果对射频辉光放电清洗的效果进行评估。实验结果表明,质谱技术能给予表面吸附气体细致的分析,氦气可以轰击去... 详细信息

本论文介绍了在辉光放电清洗的研究过程中,应用质谱技术进行样品分析的过程和对真空性能进行测试的一系列实验结果,并应用其结果对射频辉光放电清洗的效果进行评估。实验结果表明,质谱技术能给予表面吸附气体细致的分析,氦气可以轰击去除以及置换出样品吸附的气体,空气中占绝大部分的氮气和氧气在辉光放电清洗后的出气量下降,部分油蒸汽的出气量也下降,有利于超高真空的获得和维持。

关键词：辉光放电清洗质谱分析表面放气

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超高真空排气过程中进行实时超灵敏度检漏

超高真空排气过程中进行实时超灵敏度检漏

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中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会、中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会

作者：陈旭王立功查良镇清华大学电子工程系清华大学电子工程系清华大学电子工程系

长寿命、小体积密封器件要求其具有微小漏率。通常这些器件在超高真空排气前要进行严格的检漏。当前,使用商用氦质谱检漏仪可实现10-12Pa·m3/s的检漏灵敏度,使用超灵敏度检漏系统可达10-15Pa·m/s。检漏合格的器件排气时为了实现超高... 详细信息

长寿命、小体积密封器件要求其具有微小漏率。通常这些器件在超高真空排气前要进行严格的检漏。当前,使用商用氦质谱检漏仪可实现10-12Pa·m3/s的检漏灵敏度,使用超灵敏度检漏系统可达10-15Pa·m/s。检漏合格的器件排气时为了实现超高真空通常需要加热烘烤,烘烤排气过程中堵住的微小漏孔会复现出来或出现新的漏孔,造成隐患;排气完成后封离下来的器件通常使用背压法进行检漏,对于1cc体积的密封器件,其背压检漏灵敏度仅有10-8Pa·m/s,目前尚无法实现超灵敏度检漏。因此,如果能在排气过程中、特别是器件封离前实

关键词：排气过程 QMS

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中高真空范围的静态膨胀法校准装置中容积比测量方法探讨

中高真空范围的静态膨胀法校准装置中容积比测量方法探讨

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中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会、中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会

作者：郑可可中国计量科学研究院热工处

静态膨胀方法(亦称作容积膨胀法,连续膨胀法)原理是将已知的小容积中压力较大的气体膨胀到另一大容积中,根据两容积的比值,推导出所获得的较小的压力值.在中高真空校准区域,静态膨胀法具有最高的精度,目前被世界各国家计星院,“‘泛地... 详细信息

静态膨胀方法(亦称作容积膨胀法,连续膨胀法)原理是将已知的小容积中压力较大的气体膨胀到另一大容积中,根据两容积的比值,推导出所获得的较小的压力值.在中高真空校准区域,静态膨胀法具有最高的精度,目前被世界各国家计星院,“‘泛地用于该范围段的真空基准装置。容积比的确定,在静态膨胀系统的设计、真空校准及周期复检过程中,是一个关键因素,是整个系统不确定度的主要来源之一。确定容积比大小可以有多种方法,包括重力(称重)法、膨胀法、定压法、磁悬浮真空计法等。本文对各种容积比测量方法进行了探讨及比较。并着重阐述了膨胀法原理,该方法属于现场原位测量方法,可以避免系统重新装配带来的新的不确定度。此外,针对该过程中涉及到的温度影响,给出了绝热条件下(实验室条件下难实现)和非绝热条件卜由于温度梯度、温度漂移带来的不确定度的理论修正方法。

关键词：中高真空真空校准装置静态膨胀法容积比

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真空漏率校准装置的研制

真空漏率校准装置的研制

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中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会、中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会

作者：梁智岷吴根发胡细毛杨春雷李晓成尚会川张文丽四川国防区域计量站6101校准实验室四川国防区域计量站6101校准实验室四川国防区域计量站6101校准实验室四川国防区域计量站6101校准实验室四川国防区域计量站6101校准实验室四川国防区域计量站6101校准实验室四川国防区域计量站6101校准实验室

四川国防区域计量站6101校准实验室承担了国防军工计量“十五”重点科研项目,建立一套符合本地区国防工业需求的定容式真空漏率校准装置,以保证漏率量值的统一。本文介绍了该装置的技术方案、关键技术的解决、不确定度分析及验证、与国... 详细信息

四川国防区域计量站6101校准实验室承担了国防军工计量“十五”重点科研项目,建立一套符合本地区国防工业需求的定容式真空漏率校准装置,以保证漏率量值的统一。本文介绍了该装置的技术方案、关键技术的解决、不确定度分析及验证、与国内外同类装置的比

关键词：漏率校准

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安装和使用LZL-203D四极质谱计遇到的几个问题

安装和使用LZL-203D四极质谱计遇到的几个问题

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中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会、中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会

作者：张兆祥陶雄赵兴钰张耿民张函迅北京大学信息科学技术学院电子学系北京大学信息科学技术学院电子学系北京大学信息科学技术学院电子学系北京大学信息科学技术学院电子学系北京北分瑞利分析仪器公司

科学研究和生产技术的发展显示出需要了解残气成分及其变化,而四极质谱计具有体积小、重量轻、不需要磁场、操作方便等一系列优点,再加上当代微电子技术的飞速发展,使四极质谱计具有了更广阔的应用领域。北京北分瑞利分析仪器公司生产... 详细信息

科学研究和生产技术的发展显示出需要了解残气成分及其变化,而四极质谱计具有体积小、重量轻、不需要磁场、操作方便等一系列优点,再加上当代微电子技术的飞速发展,使四极质谱计具有了更广阔的应用领域。北京北分瑞利分析仪器公司生产了新的LZL-203D四极质谱计,使用16位单片机进行

关键词：四极质谱计 LZL-203D 多离子监测几个问题

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A chain is as strong as it's weakest link

A chain is as strong as it's weakest link

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中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会、中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会

作者： Peter N.Palenstyn Varian Vacuum Technologies “The Solution Provider”

Current development of helium leak detectors has allowed them to be used ina large variety of application,ranging from research and developmentlaboratories to the most demanding industrial applications.

关键词： A chain is as strong as it's weakest link

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