成功研发超薄晶圆加工利器-南通市图书馆

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成功研发超薄晶圆加工利器

发表日期：20240813

摘要：本报讯近日，浙江晶盛机电股份有限公司成功研发新型WGP12T减薄抛光设备，实现稳定加工12英寸30微米超薄晶圆。这标志着晶盛机电在半导体设备制造领域迈出重要一步，为中国半导体产业的技术提升和自主可控提供了强有力支撑。硅半导体集成电路制作所用的硅晶片超薄晶圆因其高......

本地馆藏 |

1、借阅数量：每证可借书6册，期刊2册，团体读者证可借书刊300册。 2、借阅时间：个人借期为30天，每本书可续借1次，借期为30天；团体借期为90天。 3、归还地点：3楼服务台、自助借还设备、还书箱、各分馆 4、馆际互借：读者未能在本馆获取所需文献资料，可至参考咨询阅览室服务台填写《南通市图书馆馆际互借读者申请表》，根据馆际互借协议，我馆将为读者向其他馆代借文献。馆际互借过程中所产生的费用（资料复印、邮寄费等），由读者个人承担。 5、服务电话续借：59003605 59003606 咨询：81100100 59003600

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