基于裂纹模板法的金属网栅透明导电膜制备研究
作者单位：国防科技大学电子科学学院
会议名称：《2024年全国微波毫米波会议（中国微波年会）》
会议日期：1000年
学科分类：0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
摘 要：针对传统光刻法制备金属网栅透明导电膜成本高、工艺复杂的问题,本文采用裂纹模板法对金属网栅透明导电膜的制备工艺进行实验研究,并制备出了金属网栅透明导电膜样品。测试结果显示,样品在可见光波段的透过率为77.52%,方阻值为(1.70±0.2)Ω/□,Ku波段电磁屏蔽效果达到36dB以上,具有良好的光电性能。