MEMS行星微震仪研制进展
作者单位：华中科技大学物理学院引力中心
会议名称：《2020年中国地球科学联合学术年会》
会议日期：2020年
学科分类：07[理学] 08[工学] 070401[理学-天体物理] 082503[工学-航空宇航制造工程] 0825[工学-航空宇航科学与技术] 0704[理学-天文学]
关 键 词：微震仪 噪声测试 地震监测 环境适应性 研制进展
摘 要：0引言2020年7月23日,天问一号火星探测器的成功发射标志着中国迈向深空,进行火星科学探测取得突破。2018年5月美国NASA成功发射In Sight洞察号火星探测器,携带两台火星微震仪用于研究火星的内部构造,其中一台是英国帝国理工学院Tom Pike教授课题组研制的微机械(MEMS)火星微震仪,是目前已知世界上噪声最低的MEMS微震仪,其采用高精度电容位移传感和电磁力矩反馈方式,