体声波MOS气体传感器声场的有限元分析
会议名称：《2019年全国声学大会》
会议日期：2019年
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
基 金：机械结构力学及控制国家重点实验室自主课题(MCMS-0318K01) 江苏高校优势学科建设工程资助项目
摘 要：正0引言金属氧化物半导体（mentaloxidesemiconduc-tor,MOS）气体传感器广泛应用于危险气体的检测[1-3],具有稳定性好、寿命长、能耗低和反应速度快等优点。然而,其灵敏度的局限性使得它在低浓度和超低浓度气体检测领域中的应用受到限制。之前,本课题组提出了一种利用超声体声波大幅度提高MOS气体传感器灵敏度及降低其检测下限的方法[4],该方法利用超声换能器在传感器附近产生声