退火条件对氮掺杂二氧化钛薄膜性能的影响
作者单位：蚌埠玻璃工业设计研究院浮法玻璃新技术国家重点实验室
会议名称：《2017年全国玻璃科学技术年会》
会议日期：2017年
学科分类：081702[工学-化学工艺] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 0702[理学-物理学]
基 金：安徽省重点研究与开发计划项目(1704a0902014 1704a0902010)
关 键 词：射频磁控溅射 氮掺杂二氧化钛 退火气氛 禁带宽度
摘 要：利用射频磁控溅射技术,在室温下用TiO陶瓷靶在玻璃基底上制备N掺杂TiO薄膜。利用X射线衍射、扫描电子显微镜、X射线光电子能谱仪和紫外可见光分光光度计研究了不同退火条件对薄膜的微观结构和光学性能的影响。实验结果表明:真空退火后的薄膜结晶性能均较差,随着退火温度的升高,薄膜表面的缺陷增加,薄膜内部的N含量均减少,禁带宽度从2.83 eV增加到3.21 eV:常压条件下退火,薄膜的结晶性变优,晶粒变大,薄膜内部N含量减少,禁带宽度增加到2.93 eV。