液晶热点检测技术在集成电路失效定位中的应用
作者单位：工业与信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室
会议名称：《2010第十五届可靠性学术年会》
会议日期：2010年
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
摘 要：液晶热点检测技术是用来定位集成电路热部位的一种有效的失效分析手段,其空间分辨率和能量分辨率较高。本文介绍了液晶热点检测技术的基本原理,并提出了成功激发热点实现定位的关键要素:薄膜厚度、偏置状态、热点分析等。最后,给出了利用液晶热点检测技术对静态存储器的ESD损伤失效点进行定位的研究案例。