微电子技术在惯性技术领域中的应用
作者单位：四川压电与声光技术研究所
会议名称：《中国惯性技术学会光电技术专业委员会第四次学术交流会暨重庆惯性技术学会第八次学术交流会》
会议日期：2000年
学科分类：08[工学] 0825[工学-航空宇航科学与技术]
摘 要：本文简要介绍了化学各自异性刻蚀的原理,说明了石英音叉振子的加工过程,给出了石英微机械振动陀螺的结构和试验结果,目前制作出的微机械振动陀螺的刻度因子大约为1mV/(°/s),品质因子大约为(5-6)×10。
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