A NEW MICRO-EDM REVERSE COPYING TECHNOLOGY FOR MICROELECTROD...
A NEW MICRO-EDM REVERSE COPYING TECHNOLOGY FOR MICROELECTRODE ARRAY FABRICATION
作 者：ZENG Weiliang*, WANG Zhenlong*, DONG Desheng* *School of Mechatronics Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin, China Department of Information Science, Harbin Normal University, Harbin, China
会议名称：《2006年中国机械工程学会年会暨中国工程院机械与运载工程学部首届年会》
会议日期：2006年
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
关 键 词：Micro-EDM microelectrode array reverse copying.
摘 要：Micro electrical discharge machining (EDM), enhanced with ultrasonic vibration, is explored and assessed as a new technology for developing microelectrode array, for microelectrode array fabricated by
1、借阅数量：每证可借书6册，期刊2册，团体读者证可借书刊300册。
2、借阅时间：个人借期为30天，每本书可续借1次，借期为30天；团体借期为90天。
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4、馆际互借：读者未能在本馆获取所需文献资料，可至参考咨询阅览室服务台填写《南通市图书馆馆际互借读者申请表》，根据馆际互借协议，我馆将为读者向其他馆代借文献。馆际互借过程中所产生的费用（资料复印、邮寄费等），由读者个人承担。
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