干涉图组合测试中的空间关系
作者单位：南京理工大学电子工程与光电技术学院
会议名称：《第九届全国光学测试学术讨论会》
会议日期：2001年
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
基 金：南京理工大学科研发展基金的资助
摘 要：随着计算机和光学图像处理技术的发展,干涉技术获得了越来越高的精度,并出现了多种干涉图组合测试技术如两个方向的剪切干涉、三平面绝对检验、球面绝对检验、柱面绝对检验等。这些技术不同于对同一个波前进行不同相位的测量(如移相干涉术),多幅干涉图之间可以没有直接的关联,是由不同的测试对象产生的,并且由完全的人工调整得到的。上述特点决定了干涉图空间位置调整的准确与否,是测试影响精度的关键因素之一,我们称之为干涉图组合测试中的空间一致性。以柱面绝对检验(测试光路如图1所