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用一氧化碳作气体放电媒质的VUV光源

用一氧化碳作气体放电媒质的VUV光源

作     者:Akimitsu Hatta Keishi Yanai 

作者单位:高知工科大学电子光学系统工程系 

会议名称:《走近CIE 26th——中国照明学会(2005)学术年会》

会议日期:2005年

学科分类:080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 

关 键 词:紫外发射源 一氧化碳 气体放电 VUV光源 

摘      要:介绍本文作者致力于用等离子体增强化学蒸气沉积达到金刚石合成的研究。一氧化碳气体也可以作为金刚石的原始材料,在将一氧化碳高度浓缩制成金刚石的试验中,在石英窗口旁(view window of quartz)能闻到强烈的臭氧。根据这一事实,一氧化碳气体放电可以作为剧烈的紫外发射源。在这一研究中,利用一氧化碳气体放电制成了新颖的VUV光源。试验

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