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中科科仪真空检漏事业的发展和展望

中科科仪真空检漏事业的发展和展望

作     者:周小弟 

作者单位:中科科仪公司市场部 

会议名称:《第四届华东真空科技学术交流展示会》

会议日期:2003年

学科分类:08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 

摘      要:本文主要论述中科科仪在四十余年中研制的氦质谱检漏仪及辅助工艺设备的简单历程和主要检漏仪的性能介绍,谈及了今后的发展趋向和有自主知识产权的先进产品。

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