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微模塑法制备PMMA/SiO2杂化材料基透射光栅

微模塑法制备PMMA/SiO2杂化材料基透射光栅

作     者:刘建平 杨小敏 郭斌 石锦霞 何平笙 

作者单位:华东交通大学基础科学学院 华东交通大学基础科学学院 南京林业大学信息学院 中国科学技术大学高分子科学与工程系 中国科学技术大学高分子科学与工程系 

会议名称:《中国化学会第二十五届学术年会》

会议日期:2006年

学科分类:081704[工学-应用化学] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 070305[理学-高分子化学与物理] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0703[理学-化学] 

关 键 词:软刻蚀 微模塑 杂化材料 透射光栅 

摘      要:In the present work, PMMA/SiO2 hybrid materials based transmission gratings on slide glass substrate were formed from the PMMA/SiO2 hybrid sol by soft lithography pattern transfer technology using a p

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