表面处理对单基多电极石英晶体谐振器力-频特性的影响
作者单位：北京信息工程学院传感器技术研究中心
会议名称：《第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会》
会议日期：2006年
学科分类：080904[工学-电磁场与微波技术] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
摘 要：根据晶体振动的限波理论设计制作了单基多电极石英晶体谐振器。研究了这种结构的石英晶体谐振器的晶片表面处理(是否抛光)及边沿形状(是否倒边)对其力-频特性的影响;并与传统的单基单电极石英晶体谐振器的力-频特性进行了比对分析。实验结果表明,对单基多电极石英晶体谐振器的晶片表面进行抛光并对边沿进行倒边处理,可有效地改善谐振器的力-频特性;在一定的加力方式下,单基多电极石英晶体谐振器的力-频特性将优于单基单电极石英晶体谐振器的力-频特性。