快速刀具伺服系统的精密自抗扰控制
会议名称：《第二十九届中国控制会议》
会议日期：2010年
学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0802[工学-机械工程] 0835[工学-软件工程] 080201[工学-机械制造及其自动化]
基 金：国家自然科学基金资助,项目批准号:50675117 摩擦学国家重点实验室基金资助,项目批准号:SKLT09B03
关 键 词：快速刀具伺服系统 自抗扰控制 加速度前馈 微结构表面
摘 要：金刚石超精密车削是加工微结构表面光学元件的有效方法,其关键是高性能快速刀具伺服系统。在加工过程中,快速刀具伺服系统应能克服时变的切削力负载,驱动刀具按照指定的轨迹完成频率高达数千赫兹的高精度跟踪运动。为了解决快速刀具伺服系统的跟踪控制问题,本文根据微结构表面车削时参考轨迹已知的特点,应用自抗扰控制原理和加速度前馈策略,采用状态空间法设计了一个精密自抗扰控制器,并应用于正应力电磁驱动的快速刀具伺服机构。实验结果表明了控制器的有效性。