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93k集成电路测试系统校准原理及实现方法研究

93k集成电路测试系统校准原理及实现方法研究

作     者：贺志容 石坚 韩红星 

作者单位：武汉数字工程研究所 

会议名称：《第一届中国微电子计量与测试技术研讨会》

会议日期：2008年

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 

关 键 词：校准 基准 内部参考源 中间参量 系统参量 

摘      要：本文介绍了93k集成电路测试系统校准原理与实现方法,讨论了校准过程中的量值传递关系;以HPPMU为例,给出了量值传递的实现过程,并分析了93k校准原理与方法在确保量值准确、一致性上的优点。

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