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转子螺距对变螺距螺杆真空泵性能影响的研究

转子螺距对变螺距螺杆真空泵性能影响的研究

作     者:肖红云 王庆生 陈长琦 陈宗武 张东庆 邱延亮 郭金光 

作者单位:合肥工业大学真空科技与装备研究所 

会议名称:《中国真空学会2014学术年会》

会议日期:2014年

学科分类:08[工学] 

关 键 词:螺杆真空泵 变螺距 极限真空 实际抽速 

摘      要:螺杆转子是干式螺杆真空泵最核心的部件。相比于等螺距螺杆转子,变螺距螺杆转子由于气体在泵腔内有预压缩,在压缩比相同的情况下,能显著地降低排气口的温度,而且使泵的运行更加平稳可靠;在螺杆长度相同的情况下,变螺距螺杆具有更大的理论抽速或是压缩级数。现有的变螺距螺杆转子的共同特征:螺杆转子的导程(节距)从泵的吸气端到排气端逐渐减小,且在排气端达到最小值。不同的螺距变化趋势导致了泵腔内不同的压缩比分配,从而影响真空泵的性能。为了对这个问题进行探索,本文以单头变螺距内凹转子双螺杆泵为研究对象,建立了螺杆真空泵泄漏量与几何抽速的数学计算模型。并运用相关数学软件编制程序计算了从吸气端到排气端螺距变化趋势由大变小、由小变大、以及均匀变化三种情况对螺杆真空泵实际抽速与极限真空的影响。还分别研究了在同一变化趋势的条件下,具体相邻两级之间的螺距变化对螺杆真空泵上述性能的影响。研究结果表明,从吸气端到排气端螺距变化趋势由大到小,即将较大的压缩比分配在靠近吸气端的部分是比较理想的。

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