团簇粒子源及其应用

作     者：赵子强 

作者单位：北京大学物理学院 

会议名称：《'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议》

会议日期：2001年

学科分类：08[工学] 082701[工学-核能科学与工程] 0827[工学-核科学与技术] 

基　　金：国家自然科学基金No.19735004 

关 键 词：溅射气压 粒子源 团簇离子 热蒸发 潘宁电离 量子受限 油增压泵 团簇尺寸 气体放电 半导体材料 磁控溅射 

摘      要：一 引言 粒子与固体相互作用领域的发展包括三个方面:靶材,包括晶体、非晶体、有机物及生物体:能量,高能(GeV)、中能(KeV)、低能(～IeV):“炮弹即作用粒子,包括各类射线、原子、分子、离子以及团族粒子/离子。 目前现有的团簇源类型有两类:(1)蒸发离化的方法,包括电子束、激光及热蒸发等,该方法最早由日本学者 Yamada和Takagi等人提出,可用于制备薄膜材料。其优点是薄膜致密性好、附着力强、表面光滑、外延生长容易、可以利用双束或反应团簇离子束实现化合物薄膜沉积等。缺点是无法蒸发高熔点材料、也由于使用热蒸发过程中的热惯性,使沉积过程难以控制,其次,电离化过程是靠电子碰撞进行的,团簇离子只占团簇总数的一小部分,而大部分为中性团簇。