纳米复合超硬薄膜中与界面有关的弛豫现象
作者单位：中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室 青岛科技大学 Institute for Chemistry of Inorganic MaterialsTechnical University Munich D-85747Germany
会议名称：《第八届全国内耗与力学谱会议》
会议日期：2006年
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
摘 要：利用内耗技术研究了 TiSiN 系列纳米复合超硬薄膜的结构弛豫和硬化机理。当共振频率大约在100 Hz 时在230～280℃范围内观察到一个弛豫型的内耗峰。计算出激活能为0．7～ 1．0eV,弛豫时间指数前因子为10～10秒。对比一系列样品,发现硬度越高内耗峰越低,在硬度高于50 GPa 的薄膜中没有内耗峰。内耗峰随退火温度升高而不断降低,直至600～750℃退火时消失,并且杨氏模量开始增加,这跟样品退火后硬度增长是一致的。结果表明内耗峰来源于样品中界面的弛豫过程。