Sol-gel法制备WO3气敏薄膜工艺过程的研究
会议名称：《全国第三届溶胶—凝胶科学技术学术会议》
会议日期：2004年
学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学]
基 金：国家基金委重大项目(599955206) 国家自然科学基金资助项目(50072014)
摘 要：本文研究了以钨酸为原料,以柠檬酸为络合剂,通过无机盐溶胶-凝胶法在氧化铝基片表面涂覆WO3薄膜的工艺过程。将氨水与柠檬酸混合后引入钨酸,在水浴加热条件下可生成无色透明WO3溶胶。溶胶干燥后得到的粉体试样经过600℃和800℃烧成,均可以在XRD分析中得到WO3的衍射三强峰。采用提拉涂覆法对Al2O3基片在溶胶中多次提拉成膜。