硅微电子工业的发展状态、限制、对策及辐射加固的考虑
硅微电子工业的发展状态、限制、对策及辐射加固的考虑
作 者：刘忠立
作者单位：中国科学院半导体研究所
会议名称：《第十届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术年会》
会议日期：2009年
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
关 键 词：硅微电子学 理论限制 工艺限制 经济限制 辐射加固
摘 要：本文首先简要介绍硅微电子工业的发展状态、限制及对策。为了保持硅微电子工业的继续发展,主要的对策是利用新的结构材料以及新的器件结构和器件原理。在此基础上,介绍新形势下硅微电子器件及电路辐射加固的考虑。
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