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DN900LN2型低温泵的研制

DN900LN2型低温泵的研制

作     者:武义锋 徐中堂 

作者单位:中国电子科技集团公司第十六研究所安徽万瑞冷电科技有限公司 

会议名称:《中国真空学会2012学术年会》

会议日期:2012年

学科分类:080705[工学-制冷及低温工程] 08[工学] 0807[工学-动力工程及工程热物理] 

关 键 词:低温泵 液氮 制冷机 冷屏 吸附阵 热负荷 

摘      要:介绍了一种DN900LN2型低温泵。该低温泵依靠低温制冷机和液氮同时提供冷量来进行低温冷凝和低温吸附,文中主要论述了其工作原理、结构设计、热负荷计算、性能测试结果等。该泵已经应用于环境模拟设备上了,其降温时间、抽气速度、抽气容量、真空度等各项性能指标完全满足要求。

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