非晶钛铝薄膜结构的RDF分析
作者单位：上海交通大学材料科学系 上海交通大学材料科学系 上海交通大学材料科学系 上海交通大学材料科学系
会议名称：《第八次全国电子显微学会议》
会议日期：1994年
学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学]
摘 要：正多年来,人们通过检测非晶、多晶薄膜的 X 射线衍射或中子衍射呈径向对称分布的强度分布,导出其约化密度函数 G（r）和径向分布函数（RDF）,进而计算非晶、多晶薄膜的近邻原子间距和配位数等与其结构有关的信息。由于 X 射线和中子衍射技术需要较大的样品体积和厚度,对厚度在1μm 以下的薄膜材料不适用。本文介绍的透射电子显微镜样品后扫描和能量过滤电子衍射分析法,具有选区小（～1μm）、联机数据采集、快速