外加磁场对小功率微波微等离子体激励的影响
作者单位：华东师范大学信息学院
会议名称：《2013年全国微波毫米波会议》
会议日期：2013年
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
关 键 词：微带环缝谐振器 小功率微波微等离子体 外加磁场 激励功率
摘 要：本文基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波微等离子体源,通过外加磁铁研究磁场对小功率微波微等离子体激励的影响。实验结果表明,当真空度为3.7Torr时,小功率微波微等离子体的激励功率随着外加磁场的增大而减小。这为小功率微波微等离子体源的小型化研究提供基础。