阴极刻蚀和覆膜的应用研究-南通市图书馆

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阴极刻蚀和覆膜的应用研究

作者：马静王玉春谢宏芳谢启辉陆为元

作者单位：三乐集团有限公司电子器件研究所

会议名称：《第九届真空技术应用学术年会》

会议日期：2006年

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]

关键词：刻蚀覆膜覆膜阴极发射性能

摘要：本文阐述了刻蚀和涂覆的重要作用。通过大量的条件实验确定合适的刻蚀和覆膜工艺及检验手段,进一步比较不同厚度、不同材料膜层的阴极发射性能的比较。

本地馆藏 |

1、借阅数量：每证可借书6册，期刊2册，团体读者证可借书刊300册。 2、借阅时间：个人借期为30天，每本书可续借1次，借期为30天；团体借期为90天。 3、归还地点：3楼服务台、自助借还设备、还书箱、各分馆 4、馆际互借：读者未能在本馆获取所需文献资料，可至参考咨询阅览室服务台填写《南通市图书馆馆际互借读者申请表》，根据馆际互借协议，我馆将为读者向其他馆代借文献。馆际互借过程中所产生的费用（资料复印、邮寄费等），由读者个人承担。 5、服务电话续借：59003605 59003606 咨询：81100100 59003600

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