中等气压下凹腔型感应耦合放电机理的实验研究
作者单位：中国科学院基础等离子体物理重点实验室中国科学技术大学近代物理系
会议名称：《第十三届全国等离子体科学技术会议》
会议日期：2007年
学科分类：07[理学] 070204[理学-等离子体物理] 0702[理学-物理学]
摘 要：凹腔型感应耦合放电产生等离子体的机理在碰撞条件下有显著不同。在中等气压下的凹腔型感应耦合放电中,碰撞效应不仅影响了等离子体的输运过程,碰撞复合过程更决定了与放电机理密切相关的等离子体寿命。研究表明:在碰撞及开放边界的条件下,外层空间的等离子体密度沿径向指数衰减,且