MeV的O离子注入LiNbO3晶体平面波导的退火特性及损伤分布的研究

作     者：赵金花 刘涛 郭沙沙 陈明 马宏骥 聂瑞 王雪林 

作者单位：山东大学物理学院 北京大学物理学院 晶体材料国家重点实验室山东大学 

会议名称：《2010年全国荷电粒子源、粒子束学术会议、中国电工技术学会第十三届全国电子束离子束学术年会暨电子束离子束专业委员会换届大会、中国电子学会焊接专业委员会第十届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十二届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会高能束及特种焊接2010年学术交流会、北京电机工程学会第十一届粒子加速器学术交流会》

会议日期：2010年

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant No.10975094, 10735070) National Basic Research Program ofChina(Grant No.2010CB832906),NCET and FANEDD of China 

关 键 词：离子注入 损伤分布 波导结构 

摘      要：卢瑟福背散射分析技术(RBS),最早只是应用于对原子核结构的研究。自从二十世纪六十年代发展起来的平面工艺与背散射分析技术结合起来后,背散射分析技术的优点日益显现,得到了更为广泛的应用。背散射分析技术的特长是分析快速,能得出表面下不同种类原子的深度分布,并能进行定量分析。结合沟道效应还能研究单晶样品的晶体完美性。所有这些特点使得背散射分析技术在探测表面杂质、分析杂质的深度分布、薄膜分析以及探测晶格损伤等方面都发挥着不可替代的作用。