Mist-CVD法外延生长氧化镓薄膜及其表征
作者单位：北京邮电大学
学位级别：硕士
导师姓名：李培刚
授予年度：2024年
学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学]
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