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新型MPCVD装置仿真设计与金刚石生长研究

新型MPCVD装置仿真设计与金刚石生长研究

作     者:张朝琦 

作者单位:武汉轻工大学 

学位级别:硕士

导师姓名:孙亮波;汪启军

授予年度:2024年

学科分类:081702[工学-化学工艺] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 

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