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基于差分自混合干涉的高精度旋转角度测量方法研究

基于差分自混合干涉的高精度旋转角度测量方法研究

作     者:查传武 

作者单位:天津理工大学 

学位级别:硕士

导师姓名:赵岩;田锐

授予年度:2024年

学科分类:080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

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