同轴集成式宏微复合驱动器结构优化设计与性能测试
作者单位：安徽理工大学
学位级别：硕士
导师姓名：喻曹丰
授予年度：2024年
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080203[工学-机械设计及理论] 0802[工学-机械工程]
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