碲基薄膜的气相沉积法制备及其红外探测器性能研究
作者单位：电子科技大学
学位级别：硕士
导师姓名：赵嘉学
授予年度：2024年
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
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