紫外固化系统热辐射滤光膜的研制

作     者：范家晨 

作者单位：长春理工大学 

学位级别：硕士

导师姓名：付秀华

授予年度：2017年

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

主      题：光学薄膜 紫外固化系统 热辐射 过渡层 材料吸收 滤光膜 

摘      要：为了降低紫外固化系统光源的热辐射,本文运用光学薄膜理论,从膜系设计入手,以铝纯度较高的合金板为基底,选取HfO、Al F、Cr作为薄膜材料,采用反射与吸收相结合的结构,完成了紫外高反射、可见/近红外高吸收滤光膜的设计。根据所选材料的光学和机械特性,从真空沉积技术和测试技术方面进行研究,经过分析和模拟,并不断优化工艺参数,制备了紫外反射和可见近红外吸收的滤光膜,其在22000nm波段的平均反射率为90.6%,420000nm波段的平均吸收率为92.4%。在薄膜研制的过程中,通过在基底和膜系之间沉积Al膜作为过渡层,提高了薄膜的牢固性;通过“两步沉积法,避免了Cr膜被高温氧化;用铜管将氧气引入到基片附近,降低了紫外区域HfO的材料吸收。通过各项测试证明该滤光膜满足紫外固化系统的使用要求。