环境气体种类对烧蚀粒子输运动力学的影响

作     者：丁学成 杨宝柱 王世俊 傅广生 王英龙 DING Xue-cheng;YANG Bao-zhu;WANG Shi-jun;FU Guang-sheng;WANG Ying-long

作者机构：河北大学物理科学与技术学院河北保定071002 

出 版 物：《河北大学学报（自然科学版）》 (Journal of Hebei University(Natural Science Edition))

年 卷 期：2010年第30卷第4期

页      面：361-364,433页

学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10774036) 河北省自然科学基金资助项目(E2008000631) 河北省光电材料重点实验室资助项目 河北大学自然科学基金资助课题 

主　　题：蒙特-卡罗模拟 气体种类 烧蚀粒子 时空分布 

摘      要：为深入理解纳米硅(Si)晶粒的成核机理,实现纳米Si晶粒的均匀可控,采用蒙特-卡罗(MonteCarlo)模拟方法,对脉冲激光烧蚀单晶Si靶沉积纳米Si晶薄膜过程中烧蚀粒子在环境气体中的输运动力学过程进行了模拟,并研究了环境气体种类对烧蚀粒子时空分布的影响.研究结果表明,当环境气体种类确定时,随着时间的推移,烧蚀粒子强度分布的峰值右移;并且在He环境气体中烧蚀粒子的传播距离最大,在Ar环境气体中烧蚀粒子传播距离最小;随着距靶的距离增加,烧蚀粒子的强度减小,在Ne环境气体中传输的烧蚀粒子出现二次强度峰的时间最早,并且强度峰值最大.