气相传输平衡法在(11-20)面蓝宝石上制备γ铝酸锂膜

作     者：刘世良 周圣明 李抒智 王银珍 徐军 Liu Shiliang;Zhou Shengming;Li Shuzhi;Wang Yinzhen;Xu Jun

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2006年第26卷第5期

页      面：773-776页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：中国科学院2003年度"引进国外杰出人才"计划资助课题 

主　　题：薄膜光学 复合衬底 气相传输平衡 γ铝酸锂 

摘      要：为了寻找可能替代蓝宝石作为氮化镓外延的新型衬底,通过48 h的气相传输平衡,分别在1000℃、1030℃、1050℃、1070℃和1100℃制备了一层单相多晶的γ铝酸锂膜。X射线衍射和扫描电镜分别用于表征膜的物相、取向和表面形貌。结果显示,γ铝酸锂择优取向的好坏取决于气相平衡传输温度,在1050℃制备的γ铝酸锂具有高度的[100]择优取向;在γ铝酸锂(001)面上的双轴拉应力可能有助于[100]择优取向的形成;γ铝酸锂晶粒表面裂纹的方向一致性与其择优取向紧密相关。上述结果表明在合适的工艺条件下,气相传输平衡法制备的γ铝酸锂/蓝宝石可能成为一种很有前景且适合(1-100)面氮化镓生长的复合衬底。