反射式偏振相移动态点衍射干涉技术的研究

作     者：王晨 周游 鲁棋 徐天柱 刘世杰 Wang Chen;Zhou You;Lu Qi;Xu Tianzhu;Liu Shijie

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心上海201800 中国科学院大学材料科学与光电技术学院北京100049 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2020年第47卷第10期

页      面：156-163页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金(11602280) 

主　　题：测量与计量 干涉测量 球面面形 点衍射干涉仪 偏振相移 

摘      要：为了抑制环境振动引入的测量误差,实现对球面光学元件面形的动态检测,提出了一种基于微偏振片阵列的反射式针孔点衍射干涉系统。该干涉系统使用短相干激光光源获得两束相干光,通过调节两束偏振光的光强比调节干涉条纹的对比度,利用集成微偏振片阵列CCD相机采集的单帧图像获得4幅相移干涉图,实现动态检测。用该干涉系统和ZYGO干涉仪测量同一凹面镜样品,得到的面形结果相吻合,验证了该干涉系统测量结果的准确性。在实验测量平台上外加电动机产生振动条件,结果表明,当振动速度小于16 μm/s时,都可得到较准确的面形测量结果,表明该干涉系统的抗振性能较好。