利用FFV预测缓蚀剂在不同体系中的协同效应

作     者：陆原 赵景茂 李明杰 张晨 Vahdat Zahedi Asl Yahya Palizdar 樊保民 LU Yuan;ZHAO Jing-mao;LI Ming-jie;ZHANG Chen;Vahdat Zahedi Asl;Yahya Palizdar;FAN Bao-min

作者机构：中海油(天津)油田化工有限公司天津300450 北京化工大学材料科学与工程学院北京100029 国家石油天然气管网集团有限公司华南分公司广州510620 Nanotechnology and Advanced Materials DepartmentMaterials and Energy Research CenterKaraj 31787-316Iran 北京工商大学材料与机械工程学院北京100048 

出 版 物：《表面技术》 (Surface Technology)

年 卷 期：2020年第49卷第11期

页      面：58-65页

核心收录：

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 1201[管理学-管理科学与工程(可授管理学、工学学位)] 0817[工学-化学工程与技术] 0806[工学-冶金工程] 08[工学] 070203[理学-原子与分子物理] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0813[工学-建筑学] 0702[理学-物理学] 

主　　题：缓蚀剂 缓蚀率 腐蚀 协同效应 自由体积分数 

摘      要：目的研究一种分析缓蚀组分间协同效应的新方法。方法使用Material Studio 7.0软件中的Amorphous Cell模块进行对象构建,在不同体系中利用Discover模块进行优化和运算,以水分子为探针进行FFV值测试,模拟计算得到FFV,再利用其变化率,来预测缓蚀组分间的协同效应,并通过传统方法验证该方法的正确性。结果FFV模拟结果表明,在CO2体系中,MTIAS与AB2N具有协同效应,当二者按照摩尔比3∶2复配时的FFV最小,FFV的变化值D值最大,协同效应最好,缓蚀效率最高,而MTIAS与CPQA没有明显协同效应。在CO2/H2S体系中,MTIAS与CPQA按照摩尔比4∶1复配时的FFV最小,D值最大,协同效应最好,缓蚀效率最高;而当按照摩尔比1:4复配时,却出现了明显的拮抗效应,此时MTIAS与AB2N没有明显协同效应。失重法、极化曲线的测试结果与上述结果吻合。结论通过缓蚀剂膜层的FFV预测缓蚀组分间的协同效应,是一种快速有效的研究方法。