微结构自由曲面的超精密单点金刚石切削技术概述

作     者：李荣彬 孔令豹 张志辉 杜雪 陈新 刘强 LI Rongbin;KONG Lingbao;ZHANG Zhihui;DU Xue;CHEN Xin;LIU Qiang

作者机构：香港理工大学超精密加工技术国家重点实验室伙伴实验室中国香港00852 广东工业大学广东省微纳加工技术与装备重点实验室广州510006 

出 版 物：《机械工程学报》 (Journal of Mechanical Engineering)

年 卷 期：2013年第49卷第19期

页      面：144-155页

核心收录：

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0802[工学-机械工程] 0701[理学-数学] 0801[工学-力学（可授工学、理学学位）] 0812[工学-计算机科学与技术（可授工学、理学学位）] 080201[工学-机械制造及其自动化] 

基　　金：香港理工大学研究委员会 香港创新科技署和广东省引进创新科研团队计划资助项目(201001G0104781202) 

主　　题：微结构自由曲面 超精密加工 精密测量 切削机理 机床设备 

摘      要：回顾了超精密加工技术的发展,主要包括超精密加工设备的开发历程,以及超精密单点金刚石切削技术基础,并对微工程技术作一简要介绍;重点论述微结构自由曲面的微纳切削技术,包括单点金刚石车削(Single point diamond turning,SPDT),快刀伺服加工(Fast tool servo,FTS),金刚石微凿切(Diamond micro chiseling,DMC),光栅铣削等技术。指出微结构自由曲面测量领域面临的挑战和存在的问题,包括接触式测量和非接触式测量。通过几个典型微结构自由曲面的加工及测量的应用进行举例说明;最后介绍我国在超精密加工机床领域内的研制情况,展望了超精密切削技术未来发展趋势。