基于相位凝固技术的激光反馈干涉系统

作     者：刘惠兰 曹文娟 王维 

作者机构：北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院北京100191 微纳测控与低维物理教育部重点实验室北京100191 惯性技术重点实验室北京100191 北京信息科技大学光电信息与通信工程学院北京100192 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2013年第33卷第3期

页      面：178-182页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金(60908016)资助课题 

主　　题：测量 激光反馈干涉 位移测量 相位凝固技术 

摘      要：基于相位凝固技术的激光反馈干涉术,为验证其可行性及测量分辨率,设计了微位移测量验证系统。在系统中利用相位调制器进行外腔相位调制,采用相位凝固技术进行采样及解调,重构出外部目标物的位移信息。建立了测量系统的模型,进行了基于相位凝固技术的调制解调算法仿真及位移测量验证实验。实验验证了仿真的正确性和系统的可行性,通过比较外部目标物的实际位移与系统重构位移结果,得出测量峰谷值相对误差小于3%。研究表明,此测量方法能够准确地测量出外部目标物的位移信息,可有效提高系统测量分辨率,并可实现微位移的实时测量。