利用频闪成像方法进行微机电系统的计量
MEMS Measurement Using Strobed Imaging作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072
出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)
年 卷 期：2005年第26卷第4期
页 面：299-303页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术]
摘 要：为了实现MEMS器件的计量,一个基于频闪成像原理的MEMS动态测试平台被构建,用于在全频率、相位和电压输入范围内表征器件的全三维运动。系统利用高亮度LED和LD作为脉冲光源,有效冻结MEMS器件的面内和离面运动,能在从静止状态到1MHz很宽的频率范围内对MEMS器件进行表征,达到了纳米级分辨力。通过实验对一个微谐振器进行了三维运动测量,在扫频和扫幅两种工作模式下,配合强大的数据分析软件,给出器件运动的幅频和相频特性曲线,为分析器件的动态性能提供了可靠数据。
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