作 者:翁子懋
作者机构:天原化工厂
出 版 物:《化工装备技术》 (Chemical Equipment Technology)
年 卷 期:1993年第14卷第4期
页 面:48-49页
学科分类:0817[工学-化学工程与技术] 08[工学]
主 题:塑料 高纯水
摘 要:由于越来越多的化工过程需使用高纯水,塑料管路在高纯水系统中的使用已引起了人们广泛注意,这不仅在于成本比较低和维修方便,而更多的在于对高纯水的微量沾污问题。 在微电子工业,水中存在的杂质就会影响产品纯度,因此微量沾污要控制在万亿分之一(10^(-12)即ppt)水平。当然,其它行业对高纯水的要求并不相同,各自都有对杂质性质及含量的允许规定。