磁控溅射法制备Al2O3复合高铝玻璃薄膜

作     者：万法琦 贺建雄 鲍思思 姜宏 文峰 马艳平 WAN Faqi;HE Jianxiong;BAO Sisi;JIANG Hong;WEN Feng;MA Yanping

作者机构：海南海资源利用国家重点实验室&海南省特种玻璃重点实验室海南海口570228 海南大学材料科学与工程学院海南海口570228 海南中航特玻科技有限公司&特种玻璃国家重点实验室海南澄迈579124 

出 版 物：《材料科学与工程学报》 (Journal of Materials Science and Engineering)

年 卷 期：2020年第38卷第4期

页      面：619-624页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：海南省重大科技计划资助项目(ZDKJ2017011) 国家自然科学基金资助项目(51761010) 海南大学科研平台建设资助项目(ZY2019HN09)。 

主　　题：高铝玻璃 磁控溅射 氧化铝 

摘      要：采用磁控溅射法,创新性地以高铝玻璃和Al2O3为靶材,制备了Al2O3复合高铝玻璃薄膜。利用多种技术手段对薄膜的表面形貌、结构及成分进行分析和表征。结果表明,在Al2O3靶功率为120 W,其他条件不变的情况下,所制备的薄膜综合性能最优。此外,对薄膜的硬度及可见光透过率进行了测试,测试结果表明薄膜的纳米硬度可达18 GPa以上,同时保持了高于85%的良好可见光透过率。