不同掺Ag含量下高温(800℃)沉积CrN/Ag涂层的组织结构及其性能

作     者：张旭海 巫亮 曾宇乔 李凡 徐笑 李想 武小冕 蒋建清 

作者机构：东南大学材料科学与工程学院江苏省先进金属材料高技术研究重点实验室江苏南京211189 

出 版 物：《功能材料》 (Journal of Functional Materials)

年 卷 期：2013年第44卷第13期

页      面：1908-1911页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51141004) 江苏省材料摩擦学重点实验室开放基金资助项目(kjsmcx1003) 博士点基金资助项目(20110092120035) 东南大学基金资助项目(T12121007 3212002101) 

主　　题：CrN Ag涂层 磁控溅射 热处理 氧化 硬度 Ag溢出 

摘      要：为研究高温下掺入Ag的CrN涂层的组织性能,在沉积温度为800℃的条件下采用直流反应磁控溅射技术制备CrN/Ag硬质涂层。采用扫描电镜(SEM)、EDS能谱仪、X射线衍射(XRD)和维氏硬度计,综合分析了800℃沉积温度下,对不同Ag掺杂情况下CrN/Ag涂层的组织结构和性能特点,以及700℃热处理工艺对其的影响。结果表明,Ag添加导致CrN晶相生长由(200)择优取向向无择优取向转变,并使得CrN/Ag涂层表面粗糙化;少量Ag(7%(原子分数))添加可提高涂层硬度,过多Ag(21%(原子分数))添加明显降低涂层硬度;高温热处理(700℃/1h)后,纯CrN涂层的氧化并不明显,但是,随Ag含量增加,涂层氧化程度逐渐增加,且在高Ag(21%(原子分数))涂层中Ag溢出现象显著;涂层氧化及Ag溢出导致涂层硬度显著降低。