Control of arsenic Pollution from waste gases during fabrication of semiconductor
Control of arsenic Pollution from waste gases during fabrication of semiconductor出 版 物：《Journal of Environmental Sciences》 (环境科学学报（英文版）)
年 卷 期：1994年第6卷第1期
页 面：123-127页
核心收录：
学科分类：083002[工学-环境工程] 0830[工学-环境科学与工程（可授工学、理学、农学学位）] 08[工学]
主 题：Semiconductoro arsenic pollution abatement.
摘 要：The abatement technology of toxic arsenic pollution during fabrication of semiconductormaterials and devices has been studied.
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