微机电系统产品非正态多质量特性的稳健设计方法

作     者：吴佳伟 宋华明 万良琪 黄甫 马东升 杨加猛 WU Jiawei;SONG Huaming;WAN Liangqi;HUANG Fu;MA Dongsheng;YANG Jiameng

作者机构：南京理工大学经济管理学院江苏南京210094 南京航空航天大学经济与管理学院江苏南京211106 南京林业大学经济管理学院江苏南京210037 

出 版 物：《计算机集成制造系统》 (Computer Integrated Manufacturing Systems)

年 卷 期：2020年第26卷第7期

页      面：1771-1781页

核心收录：

学科分类：12[管理学] 0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 120202[管理学-企业管理（含：财务管理、市场营销、人力资源管理）] 1202[管理学-工商管理] 0817[工学-化学工程与技术] 0807[工学-动力工程及工程热物理] 080203[工学-机械设计及理论] 0802[工学-机械工程] 0835[工学-软件工程] 0811[工学-控制科学与工程] 0812[工学-计算机科学与技术（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(71172105 71571102 51665017) 

主　　题：微机电系统产品 非正态多质量特性 广义线性模型 基于分解的多目标进化算法 稳健设计 

摘      要：针对温度噪声和设计参数随机性下的微机电系统(MEMS)产品非正态多质量特性波动问题,提出一种基于广义线性模型和基于分解的多目标进化算法(MOEA/D)的稳健设计方法。在样本数据建模阶段将双响应曲面引入广义线性模型中,来构建MEMS产品非正态多质量特性均值模型和方差模型,克服以往研究中对非正态转换方法下的复杂高维非线性模型信息失真的局限性,从理论上体现了MEMS产品非正态质量特性处理方法的严密性和有效性。在此基础上,提出MOEA/D优化策略,解决多质量特性冲突、离散和温度噪声条件下的模型求解问题。通过算例证明所提方法可以降低温度噪声和设计参数随机性对MEMS产品非正态质量特性的影响,同时表明该方法解决不确定性环境下的多质量特性决策问题是有效的。