激光半焦斑边缘检出法测径系统
Research on the Diameter Measuring System with the Method of Laser Half Focus Edge Checkout作者机构：湖南长沙国防科技大学机电工程及自动化学院湖南长沙410073
出 版 物：《基础自动化》 (Basic Automation)
年 卷 期：2000年第7卷第4期
页 面：55-58页
核心收录：
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
摘 要：在分析传统半光强法的基础上 ,通过计算机仿真提出了激光半焦斑边缘检出法 ,介绍了一种采用激光半焦斑边缘检出法的光电测径系统及其相关的技术要点。分析并修正了系统误差 ,从而实现了对不同材料、不同加工方法和不同表面处理工件的精密测量。系统的设计量程为 10 0mm ,边缘检出灵敏度为 0 32μm ,测量不确定度为 2σ≤ 3μm。
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